浮体效应论文

论文题目:新结构SOI材料与器件物理研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:朱鸣导师:林成鲁,朱剑豪关键词:绝缘体上的硅,自加热效应,浮体效应,等离子体浸没式...