辐照增强扩散论文

金属离子高温注入金属表面合金化机制研究
论文摘要金属离子高温注入是一种重要的表面合金化工艺,是在大束流密度轰击或辅助热源加热条件下实现的高温基体注入工艺。较常规离子注入,高温注入具有更大的注入深度,并可在离子注入层中...