辅助沉积论文

计算机模拟CN_X成膜结构与吸附沉积
论文摘要尽管理论上已经预言β-C3N4硬度有可能超过金刚石，但至今为止人们仍未合成硬度超过金刚石的β-C3N4，主要原因是沉积物中多为非晶CNx薄膜，很难得到单一相的氮化碳化合...
离子束辅助真空电弧沉积TiN/CNx薄膜的研究
论文摘要本文研究了采用钛/石墨复合靶和钛/甲烷/氮气真空电弧沉积法,利用Bulat-6多弧离子镀膜机在不同的工艺参数下制备了TiN/CNx复合薄膜,并用X射线衍射仪、扫描电子显...