辅助磁场约束论文

论文摘要本文首先对磁控溅射薄膜沉积技术的发展和应用做了详细阐述。介绍了几种典型的溅射沉积方法及它们的特点,陈述了磁控溅射技术在薄膜沉积领域的应用前景,并结合实验中的溅射靶材料介...