辅助阳极论文

高能离子溅射镀膜机中辅助阳极性能研究
论文摘要溅射镀膜已经在工业生产中大规模的运用,等离子体的分布在磁控溅射镀膜过程中起着至关重要的作用,其中正离子的能量,离子的浓度等特性对成膜质量、靶表面刻蚀区的均匀程度以及靶材...