• 压电驱动器非线性校正技术研究

    压电驱动器非线性校正技术研究

    论文摘要随着各行各业对高精度定位的需求的增加,压电精密定位技术得到了越来越广泛的应用,随之也出现了许许多多要解决的问题。其中,压电驱动定位系统的非线性特性对定位精度的影响最为显...