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压电驱动器非线性校正技术研究
论文摘要随着各行各业对高精度定位的需求的增加,压电精密定位技术得到了越来越广泛的应用,随之也出现了许许多多要解决的问题。其中,压电驱动定位系统的非线性特性对定位精度的影响最为显...