干泵论文

多级罗茨泵转子的型线设计、加工及表面涂层研究
论文摘要在新兴的半导体工业中芯片、光学通讯元器件及平板显示器等产品的生产过程中,无油分子泵、低温泵等干式中高真空泵得到了广泛的应用。与这些干式中高真空泵相配合的前级低真空泵大多...