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干法和湿法腐蚀制作脊型半导体激光器的比较研究
论文摘要本文首先对脊型半导体激光器的发展和应用进行了综述,其次对脊型半导体激光器的发光原理、材料、结构进行了理论分析,进而对脊型半导体激光器进行了优化设计。在对光刻原理进行研究...