![GaAs/A1GaAs材料V型腔可调谐激光器的设计制作及在生物检测上的应用]()
论文摘要在现今的社会中,由于人们生活习惯和饮食问题,心脑血管疾病的患者人数逐年增长,已经极大地影响到了人类的健康和生存情况,对心血管疾病的预防和诊治成为人们亟需解决的重要问题之...
![InP基短波长（3-5um）量子级联激光器的研究]()
论文摘要激射波长为3-5um（大气窗口）的激光光源,一直是科研、民用和国防等领域的研究热点。其中4.6um光源是用来干扰热导导弹（heatseekingmissiles）的重要...
![氮化钽金属薄膜干法刻蚀的研究]()
论文摘要氮化钽薄膜在微电子工艺中的应用比较广泛：在标准CMOS后道的铜互连技术中,作为阻挡层被应用；由于氮化钽与高K介质的良好兼容性,在45nm以下CMOS工艺中,正在被开发作...
![砷化镓纳米线太阳能电池研究]()
论文摘要随着石油煤炭等的使用造成的全球气候变暖以及大气污染等问题日益严重,尤其是这些不可再生资源的有限性导致愈演愈烈的能源战争,迫使人们将目光聚焦到新型能源技术的开发上。太阳能...
![0.18微米侧壁（Spacer）干法刻蚀工艺的开发与优化]()
论文摘要本论文开发并优化了0.18微米技术侧壁（Spacer）的干法刻蚀工艺,通过利用公司现有设备,改进原工艺不足,开发出满足产品要求的刻蚀工艺。本论文根据0.18微米技术侧壁...
![基于平面光波导的耦合/干涉型集成器件的研究]()
论文摘要建立在平面光波导技术之上的光器件,具有成本低、体积小、便于批量生产、稳定性好及易于与其它器件集成等优点。目前,平面光波导集成光学元件已在通信、军事、电力、天文、传感等应...
![氮化镓基LED芯片的制备研究]()
论文摘要GaN是一种宽禁带半导体材料，在室温下其直接带隙宽度为3.39eV，具有热导率高、耐高温、耐酸碱、高硬度等特性，是第三代半导体的代表。这些特性使GaN基材料广泛地被用于...
