钢瓶论文

液氯钢瓶泄漏事故后果评价分析代艳强杨谦
武汉华星光电技术有限公司湖北武汉430078摘要：氯气作为半导体行业常见制程气体，因其剧毒性需因引起格外重视，本文采用事故后果模拟分析方法对液氯钢瓶的泄漏进行定量分析，计算泄露...