刚柔混合建模论文

光刻机专用硅片传输机器人的设计与分析
论文摘要光刻机是半导体制造的核心装备,硅片传输机器人是其内部专用的自动物料处理设备,它的工作速度、定位精度、可靠性,使用洁净度等直接影响光刻工序中的生产效率和制造质量。国外的半...