干涉谱论文

基于白光干涉的绝对距离测量方法的研究
论文摘要随着工业的发展,产品的测量精度有待进一步提高,绝对距离的测量装置在近几年更是需要改善。为此本课题研究了一种基于白光干涉测量装置来测量绝对距离。本论文从理论研究和实用角度...
基于白光干涉的金属极薄带测厚理论与系统研究
论文摘要机械精密细微加工和检测技术是国家中长期科技发展规划纲要和十一五规划中鼓励发展的先进制造技术。目前经过精密加工的1μm-100μm厚度的金属箔带的一个重要应用场合是在我国...