干涉条纹大小数计数论文

基于双频干涉的直线度及其位置测量方法研究
论文摘要直线度误差作为重要的几何公差之一,直接影响到仪器或机器的质量、精度及性能,直线度的测量在精密仪器制造与检测、大型仪器的安装与定位、军工产品制造等领域中有着广泛的应用。现...