感应耦合放电论文

ICP-CVD法制备氟碳薄膜的实验研究
论文摘要氟碳（FC）薄膜由于具有较低的介电常数（可达2.0±0.1）、良好的热稳定性、粘附性,较低的表面能、折射率低等特性,已经引起了工业界的广泛关注。随着元器件特征尺寸减小,...
感应耦合放电的碳氟等离子体行为及碳氟薄膜生长机理
论文题目:感应耦合放电的碳氟等离子体行为及碳氟薄膜生长机理论文类型:博士论文论文专业:凝聚态物理作者:黄松导师:宁兆元关键词:感应耦合放电,碳氟等离子体,碳氟薄膜文献来源:苏州...