高介电常数薄膜论文

高介电常数栅介质MOSFET的研制
论文摘要随着半导体制造技术的发展,集成电路（IC）加工的尺寸越来越小。当特征尺寸缩小到纳米数量级时,芯片上金属-氧化物-半导体场效应管（MOSFET）的栅介质薄膜Si02将减薄...