首页
智能降重
一键组稿
论文查重
写作助手
首页
>
标签
>
高介电常数栅介质论文
高介电常数栅介质论文
多孔介质论文
介电常数论文
介质阻挡放电论文
炎症介质论文
微波介质陶瓷论文
介质论文
异向介质论文
速率常数论文
弹性常数论文
结合常数论文
原子层淀积高介电常数栅介质研究
论文摘要随着微电子技术的飞速发展,作为硅基集成电路核心器件的金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的特征尺寸一直按照摩尔定律不断地缩小。然而,当传统栅介质SiO2的厚度减...