高介电栅介质薄膜论文

几种微电子材料的制备、表征与性能研究
论文摘要在对更快、更小和更高性能的电子设备的需求驱动下,微电子工业高速发展。集成电路的特征尺寸以及用于不同电路之间连接的印刷电路板的尺寸都在不断缩小,使得很多传统微电子材料与技...