高精度定位控制论文

IC缺陷检测的直线电机高精度定位控制
论文摘要高速高精运动控制是电子制造装备的核心技术之一。在IC芯片的封装与检测中,随着芯片尺寸的减小,生产率要求的提高,封装设备的加速度、速度和定位精度要求越来越高。这给运动控制...
高性能数控系统若干关键技术的研究
论文摘要本论文结合具体科研项目,对高性能数控系统若干关键技术进行了系统和深入的研究,主要涉及:面向高速数控加工的柔性加减速控制方法;连续微段高速自适应前瞻插补方法;多轴运动轮廓...