高精度位移传感器论文

基于PSD的高精度位移传感器的研究
论文摘要鉴于激光位移传感器在工业生产、非接触实时测量、精确定位等领域中的实用价值,本文对基于PSD的高精度位移传感器进行研究。介绍了PSD器件的工作原理,对基于三角法测量原理的...