高密度等离子体源论文

等离子体束溅射镀膜机研制及工作机理研究
论文摘要物理气相沉积技术目前主要有热蒸发、溅射、离子镀等方式。溅射技术的出现和应用已经经历了许多阶段,从二极溅射、三极溅射、磁控溅射以及各种新型的溅射方法。相比较而言,二极溅射...