高频等离子体论文

高频等离子制备纳米微粒反应器的分析
论文摘要高频等离子体技术已经广泛应用于纳米材料的制备，但是有关高频等离子体反应器分析的研究论文较少。本文基于化学反应工程的基本理论，研究了高频等离子气相沉积法制备纳米粉体材料的...