高栅介质层论文

高k栅介质层MOS电容式硅基电光调制器的研究与设计
论文摘要硅材料在地球上分布广泛,成本低廉,对光通讯波段的光吸收小,同时它作为微电子领域的传统材料,具有加工工艺成熟,易于集成等诸多优点,是制作低成本的光电子集成器件的首选材料。...