高深宽比论文

论文摘要目前,在表面形貌测量领域,扫描探针测量装置是最直接、最能如实反映被测试件表面形貌的有效工具。扫描隧道显微镜（ScanningTunnelingMicroscope,ST...

论文摘要在微电子和微机电系统设计与制造工艺中,目前普遍采用了高深宽比的深沟槽结构。随着沟槽尺寸不断缩小且沟槽剖面形貌更为复杂,监测沟槽深度相关的几何特征参数对于保证工艺控制已变...

论文摘要论文针对轴向磁化永磁微电机微小型化的过程中,其转矩和效率的变化、能满足实际应用的最小电机尺寸、该类微电机的最优设计方法以及最优的批量化制造工艺等问题进行了如下研究工作:...