高深宽比微细结构论文

分层微细电铸基础研究及装置设计
论文摘要微细制造技术被广泛地认为是21世纪最重要的技术之一。随着微机电系统（MicroElectroMechanicalSystem,MEMS）的发展,对微机构所提出的要求也越...