高压脉冲辉光放电论文

论文摘要传统的内表面改性方法由于不能解决离子的补充问题和鞘层重叠的问题,因此不能在内表面获得注入剂量和深度均匀的注入层。将脉冲高压辉光放电引入内表面改性研究中,理论上可以在圆筒...