高压器件论文

论文摘要本课题依据国家科技重大专项“02专项-极大规模集成电路制造技术及成套工艺”的子课题-“SOI工艺平台下器件的表征与分析”的要求完成整个项目,以SOI600VLDNMOS...

论文摘要高压CMOS（ComplementaryMetalOxideSemiconductor）器件与普通CMOS器件相比存在较多电性设计要求和工艺尺寸上的差异,其电性参数的稳...