![基于硅的湿法腐蚀特性仿真与制作微折射结构]()
论文摘要硅在氢氧化钾溶液中呈各向异性腐蚀特性,利用此特性可以制作多种非球面、非对称的微光学折射结构。通过计算机对此特性进行模拟与仿真,可以便捷高效地输出各工艺阶段所需的参数与数...
![单晶硅高效制绒方法的研究]()
论文摘要光伏发电是太阳能利用的重要组成部分,它是一种清洁的、用之不竭的可再生绿色新能源,对于光伏产业,高效率和低成本永远是不变的追求。目前,对于高效单晶硅电池,其表面反射率是影...
![石英微陀螺结构优化与制造工艺研究]()
论文摘要石英以其良好的压电特性、较高的温度稳定性和机械性能,使得石英微陀螺具有结构简单、稳定性好、可靠性高、易于驱动检测等优点,成为MEMS陀螺的研究热点。本文以一种新型石英微...
![硅微悬臂梁探针的制备工艺研究]()
论文摘要随着MEMS及纳米科技的进步,悬臂梁探针在扫描探针显微镜、隧道传感器、微纳米加工、高密度数据存储中的应用越来越多,微纳米针尖的曲率半径及悬臂梁的性能决定着传感器的灵敏度...
![基于场效应管检测的新型纳机电谐振器基础研究]()
论文摘要纳机电谐振器的应用十分广泛,可作为新的实验手段来研究量子物理,并可在高灵敏度传感器和射频电路等方面得到直接应用,因此得到人们广泛关注。在检测方面,随着尺寸的进一步减小,...
![MEMS高温压力传感器若干关键技术的研究]()
论文题目:MEMS高温压力传感器若干关键技术的研究论文类型:硕士论文论文专业:机械电子工程作者:颜鹰导师:史铁林关键词:压力传感器,弹性膜片,各向异性腐蚀,有限元文献来源:华中...
