共沉积论文

双靶磁控溅射共沉积Cu-W薄膜及结构与性能研究
论文摘要Cu-W薄膜具有高导热导电性及低的热膨胀系数等优点,广泛应用于微电子及电子器件领域。但铜和钨互不固溶、浸润性差,常规方法很难制得Cu-W固溶体。本实验采用双靶聚焦磁控溅...