公共阳极论文

Pyrex玻璃与金属阳极键合机理及界面结构和力学性能的分析
论文摘要阳极键合技术（anodicbonding）也称之为静电场连接是一种连接金属、半导体与陶瓷材料的很重要的方法，也是MEMS封装中常用的一种方法，随着MEMS器件的发展，它...