工件台论文

论文摘要工件台系统是极紫外光刻(EUV)的一个关键子系统。极紫外光刻机采用步进扫描曝光方式,成像质量不仅取决于光学系统的质量,还取决于工件台的动态定位,因此工件台系统机械结构的...

论文摘要随着科学技术的发展,人类在制造领域中采用的尺度将由微米迈向纳米。超精密加工技术将是未来十到二十年内制造领域中最重要的进展之一,其工程应用既多样又重要。超精密加工技术已成...

论文摘要光刻机是集成电路制造的关键设备,工件台系统是光刻机的核心系统之一,其运动精度直接影响光刻机的分辨率和套刻精度,而工件台的运动精度受到工件台水平向平面电机和直线电机的电机...

论文摘要多自由度精密运动台是集成电路设备、精密加工机床等的关键部件,具有速度大、精度高的特性,其运动精度直接影响整机的性能,因此多自由度精密运动台的高速高精运动控制十分关键。实...

论文摘要集成电路产业是现代信息产业的基础,是改造和提升传统产业的核心技术。随着微细加工技术的进步,集成电路的特征线宽进入到深亚微米领域,电子束曝光代表了最成熟的亚微米级曝光技术...