共晶键合论文

基于MEMS加工工艺的复杂结构微通道散热器研究
论文摘要从宏观器件的微小型化到功能化微小型器件的独立开发,结构的微型化使器件内部的物质和能量输运均受到了微小空间的限制,这使得部分高功率器件面临功率过高所带来高能量及快速热输运...