功能化硅表面论文

硅表面功能化结构制造技术及实验研究
论文摘要自20世纪80年代末以来,纳米技术在信息、材料、生物、微电子和微制造方面显示出越来越重要的应用前景,已成为世界关注的重要科技前沿之一。随着纳米科学技术的发展,设计和构筑...