拱形空气桥论文

AlGaN/GaN HEMT空气桥技术研究
论文摘要随着AlGaN/GaNHEMT朝着高频、大功率的方向不断发展,采用空气桥实现独立源端或漏端的互连,具有低寄生电容、方便制备、高可靠性等优点,越来越体现出其重要性。本文首...