工艺参数扰动论文

VLSI受工艺参数扰动影响的若干问题研究
论文摘要作为有史以来发展最为迅速的工业之一,半导体工业的进步使大规模集成电路的特征尺寸不断缩小、芯片集成度不断提高。如今,半导体芯片的规模已达到数亿晶体管,原来需要多个芯片共同...