工艺集成论文

ULSI铜互连中电迁移可靠性研究及其工艺整合优化
论文摘要随着集成度的增加及器件尺寸的等比例缩小,由互连引入的电阻电容延迟所占的比重越来越大。为了减小互连延迟,业界采用铜互连代替传统的铝互连,采用低介电常数材料替代传统的二氧化...
基于阻性存储器高密度应用的工艺解决方案研究
论文摘要随着特性尺寸的不断缩小,Flash不挥发存储技术将面临尺寸极限挑战。基于硫系化合物材料的相变存储器和基于金属氧化的电阻存储器,由于其各自独特的存储特性优点,均被人为是是...
基于Web Service的染整工艺信息集成技术研究
论文摘要染整是纺织品加工的重要过程,其过程包括前处理、染色、印花、后整理等工序,其主要目标是赋予织物良好的服用性能。它对改善织物外观,提高产品质量,增加花色品种等有重要作用,是...