工艺偏差论文

论文摘要从集成电路的诞生到如今单片集成上亿个晶体管,短短几十年的时间里集成电路产业发展创造了一个人类技术史上的光速神话。集成电路的高速发展归功于制造工艺的进步以及设计方法学的革...

论文摘要随着集成电路特征尺寸的持续减小,芯片的工艺参数发生严重的偏差。工艺偏差对集成电路时序分析已具有严重影响。工艺偏差的精确建模是统计时序分析的前提条件。片内偏差是工艺偏差的...

论文摘要半导体工业的进步依赖于不断缩小的特征尺寸以及由此获得的器件性能的快速提高和芯片集成度的指数增长。当集成电路特征尺寸到了纳米时代以后,由于亚波长光刻和化学机械抛光等复杂工...

论文摘要作为有史以来发展最为快速的工业之一,半导体工业的进步依赖于不断缩小的特征尺寸以及由此获得的器件性能的快速提高和芯片集成度的指数增长。然而,随着亚波长光刻和化学机械抛光等...