工艺缺陷论文

电荷泵及MOSFET测试失效的控制研究
论文摘要集成电路元器件测试中,各种失效机制的研究是业内普遍关注的问题,是提高良品率、降低成本的前提。本文通过对charge-pump及MOSFET测试失效机理以及由工艺缺陷所引...