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射频等离子体辅助分子束外延生长高质量Zno薄膜研究
论文摘要本论文的主要任务是研究在蓝宝石(0001)衬底上利用射频等离子体辅助分子束外延(rf-MBE)系统生长出高质量的氧化锌(ZnO)单晶外延薄膜,为ZnO这一新颖的半导体材...