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Si基Ge MSM光电探测器的研制
论文摘要制备响应波长在1.3和1.55μm,并具有高响应速度、高量子效率和低暗电流的高性能光电探测器,不仅是光通信技术发展的需要,也是实现硅基光电集成的需要。Ⅲ-Ⅴ族半导体材料...