沟槽结构论文

沟槽结构功率管理器件DMOS的可靠性评估及优化
论文摘要本文主要是研究沟槽结构的功率管理器件DMOS中晶圆基材、绝缘层材料、工艺流程缺陷和设计的布局结构对其可靠性的影响。沟槽结构的DMOS有两大结构特点:第一,多晶硅栅极采用...