沟槽式接触论文

论文摘要随着21世纪的到来,在著名的摩尔定律的推动下,半导体行业也进入到了一个全新的时代,各种各样的高性能芯片随之产生并广泛的应用在人们的日常生活中,在这些不同功能的半导体芯片...