光波导传感元件论文

In2O3复合薄膜的制备及其气敏性研究
论文摘要半导体材料在气敏传感器中占着重要的地位。与其他敏感材料相比,半导体气敏材料因对光、热、压力、磁场、辐射、湿度、气体、离子等都能够响应,并能以电信号的形式输出,而对制作各...