光程扫描论文

论文摘要白光干涉测量技术距离首次提出已经有近30年的历史,作为一种高精度的绝对测量方法被广泛用于位移、温度、应变、压力等各种物理量。随着白光干涉测量理论与技术的发展,其基本的理...