光电导型紫外探测器论文

磁控溅射法制备ZnO薄膜及光电导探测器的研制
论文摘要ZnO是一种宽禁带半导体材料,激子复合能高,在紫外区具有高的光电导特性,电子诱生缺陷低,外延生长温度低、成膜性强,有利于制备高性能的紫外探测器。本论文用磁控溅射法制备了...