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磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜及其特性研究
论文摘要掺铝氧化锌(AZO)薄膜是一种性能优良的透明导电薄膜,它的优点主要有:在可见光范围内有较高的透射率,较低的电阻率,无毒性,易刻蚀,化学性能稳定,材料来源丰富、价格便宜等...
In2O3基透明导电薄膜的制备及特性研究
论文摘要In2O3基透明导电薄膜由于其独特的光学和电学性能:可见光区域的高透过、红外区域的高反射以及低的电阻率,而在光电器件特别是平板显示方面具有极其广阔的市场,因此,开展透明...