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光集成论文
光集成论文
光栅型平面光波导波分复用器件的研究
论文题目:光栅型平面光波导波分复用器件的研究论文类型:博士论文论文专业:光学工程作者:文泓桥导师:何赛灵关键词:蚀刻衍射光栅,阵列波导光栅,平面波导,光集成,像差,工艺误差,平...