光刻版图论文

InGaAs-MSM半导体红外探测器阵列研究
论文摘要由于MSM器件本身的结构和工艺特点，使其天生具有一些优点，例如：低暗电流、低寄生电容、大带宽灵敏度、高速，以及与MOS场效应管工艺完全兼容的制造工艺。因此，MSM器件有...