光刻电解论文

激波辅助纯钛微细光刻电解试验研究
论文摘要钛是一种重要的结构金属,具有比强度高、耐蚀性好等特性,广泛应用于航空航天、化工、医疗等领域。随着微机电系统(MEMS)技术的发展,钛微细结构加工成为研究热点。光刻电解加...