光刻仿真论文

论文摘要过去几十年来,微电子技术的高速发展以及各类应用对电路性能需求的日益增长使得现代集成电路系统的规模和复杂程度日趋提高,这必将对集成电路制造技术提出更高的要求。就当今主流的...

论文题目:亚波长光刻条件下集成电路可制造性设计与验证技术研究论文类型:博士论文论文专业:电路与系统作者:史峥导师:严晓浪关键词:光刻仿真,光学邻近效应,可制造性设计,光学邻近校...