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90nm NAND Flash技术中多晶硅线均匀性制程的改善方案
论文摘要闪存(FlashMemory)作为EPROM和EEPROM的一个综合体,在成本和功能上取得了一个很好的平衡。而且其存储信息的速度也可以达到和DRAM相媲美,使得闪存成为...